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プラズマ洗浄装置の主な効果

一般的にプラズマ洗浄装置には、低圧プラズマと大気圧プラズマとがあります。低圧プラズマはガスを導入しなくてもプラズマを発生させることができ、大気圧プラズマはその名の通り大気圧環境下でプラズマを発生させる装置です。こちらは低圧の方と違って真空環境を必要とせず、イオン密度も高いのが大きな特徴です。また、発生させるためには、希ガスや酸素等のガスが必要になることも覚えておきましょう。

実際にプラズマ洗浄装置を用いる場合にはいくつかのメリットがあり、特に注目されるのがプラズマによって形成された荷電粒子を含むエネルギーが、基盤表面上の汚染物質を結合を分解する作用です。汚染物質を取り除くのはとても難しいことであり、なかなか目的のレベルにまで達しないことがありますが、プラズマ洗浄装置を用いればスムーズに処理できます。また、形成された酸素ラジカルは有機汚染物質と化学的に結合されるため、二酸化炭素や水のような揮発性物質に分解反応させて除去できるのもポイントです。プラズマによって形成された荷電粒子を含むエネルギーには、表面の気密性を高める効果もあります。

これらの働きに着目して、製造現場のゴミやほこり、異物対策に導入されている事例が数多くあります。中にはロボットのハンドにして基材を清掃できるようにしているものもあり、その用途は非常に増えているようです。基材の洗浄技術には、ドライアイス洗浄機やCO2スノー洗浄装置のようなものがあります。

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