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プラズマクリーナーの特徴と選び方

微細な電子回路を含むデバイスを製造する過程においては、組み立て後に基板の表面に付着した不純物(主に有機物)を除去する必要があります。最近は電子機器の小型化・省電力化が進み、電子回路には微細な配線が使用されています。そのため、不純物を除去する際は溶剤や洗浄液を使用しないドライクリーナー(プラズマクリーナー)が用いられます。一口にプラズマクリーナーといってもいくつかの種類があるので、用途に応じて選ぶことが大切です。

プラズマクリーナーを選ぶ場合は、使用環境・容器のサイズ・プラズマ発生源、を比較するようにしましょう。使用環境ですが、ほとんどの製品は減圧下で処理を行う必要があるので反応容器や真空ポンプが付いています。減圧が必要な場合は一度に処理ができる数量が容器のサイズに依存するので、処理が可能な量をチェックしましょう。コンパクトタイプの装置であれば狭い場所でも設置できますが、何度もバッチ処理をするので作業効率が低下します。

最近は大気圧下でも低温プラズマを発生させることが可能なプラズマクリーナーも販売されており、バッチ処理をしないで連続処理を行いたい場合はこちらの方がおすすめです。プラズマクリーナーに使用されているプラズマ発生源には、主に放電式とマイクロ波式の2種類があります。発生させることができるガスの量や使用温度などに違いがあるので、クリーニング処理をする対象物の物性やサイズに応じて適したものを選ぶことが大切です。

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