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プラズマ洗浄装置を導入するメリット

小型化や高集積の基板を扱う企業では、プラズマ洗浄装置を導入することがおすすめです。電子機器に使われる基板の不良は、表面に品質の悪さが原因と言えます。付着したものが接点で硬化し、ショートを引き起こせば動作不良等のトラブルに繋がります。そのような問題を防ぐためには、表面にある付着物を完全に取り除く必要があります。

それができるのがプラズマ洗浄装置です。プラズマ洗浄装置は気体に高エネルギーをかけて発生させたプラズマによって、周辺にある有機物と反応して分解除去するクリーナーです。非接触で作用するので集積率の高い基板でも影響を与えません。エネルギーを与えるような作用ではないので、対象の基板の温度を高くするようなこともありません。

付着物は反応によって分解されて取り除かれるので、残留することもなく完全なくすことが可能です。薬剤を使うこともないので、加工後に残留することもないので新たなリスクを生み出す恐れもありません。非接触で完全にドライな処理が行われるので、次の工程に移行するときに追加の処理が必要になることもありません。そのまま工程が続けられるということは、工程の効率を維持したまま不良を減らすことができます。

歩留まりの悪さで悩んでいるようなときには、プラズマ洗浄装置の導入を検討した方がいいでしょう。加工する対象の大きさによっても変わりますが、プラズマの能力に差はないので、小型なものでも十分な効果を期待することが可能です。プラズマ洗浄装置のことならこちら

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