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プラズマクリーナーとは

プラズマクリーナーとは耳慣れない言葉ですが、これはいろいろな半導体や電子デバイスの表面のクリーニングや改質などを目的とした機器です。その機器を使う理由は半導体の組み立ての過程で、プラズ洗浄を行うことにより、チップと実装基板の電極を接続するワイヤーボンディングの接合性或はモールディング樹脂との密着性やアンダーフィルの濡れ性などを改善することができます。現在は半導体や電子部品がますます小型化、集積化が進み、プラズマ洗浄をよくしないと、小さくて複雑なチップに対応できません。洗浄するプラズマクリーナーもいろいろな種類があります。

①小型プラズマクリーナーは平行平板型高周波プラズマを使用したもので、600mm(W)×600mm(D)×750mm(H)の小型プロセスの装置です。②表面改質に適したバッチ式のプラズマクリーナーは、RIEモード、プラズマモードから処理モードを選択でき、基板の種類に応じた最適な処理が可能です。卓上型でコンパクト設計で便利。③プラズマクリーナーV1000/1000X/1000XSは13.56MHzの高周波電力を利用したもので、RIE・DPの両モードを搭載し、電極2段式方式を採用しているので、処理効率がアップします。

特殊電極構造に変更可能となっていて、高精度マッチングユニット、RF電源は高い信頼性があります。どんな洗浄機器を購入するかは会社の業務目的や予算によって異なってくるので、購入前に比較検討しましょう。

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